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电子气

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按组分的性质分类，大致分为三类，即单质类气体（O₂、N₂、Ar、H₂、He）、化合物类气体（SiH₄硅烷、PH₃磷烷、AsH₃砷化氢、CO一氧化碳、B₂H₆乙硼烷、Hcl氯化氢、NH₃氨、CF₄四氟甲烷、SiF₄四氟硅烷等）、混合物类气体（SiH₄+稀释气（Ar、N₂）、PH₃+稀释气（Ar、N₂）、NH₃+稀释气（Ar、N₂）等）。